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日本nisshooptical半導(dǎo)體激光器測量裝置

日本nisshooptical半導(dǎo)體激光器測量裝置 AFM-30

這是一種新型深度和高度測量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。
連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測量,并具有高重復(fù)性。
由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測量,因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區(qū)域。

  • 產(chǎn)品型號(hào):AFM-30
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-12
  • 訪  問  量:307
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詳細(xì)介紹

日本nisshooptical半導(dǎo)體激光器測量裝置 AFM-30 特點(diǎn)介紹


這是一種新型深度和高度測量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。

連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測量,并具有高重復(fù)性。

由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測量,因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區(qū)域。


這是一種狹縫圖像、點(diǎn)光圖像和電子線參考線的中心在測量點(diǎn)處都重合的測量系統(tǒng),通過檢查錯(cuò)位,可以防止測量值錯(cuò)誤。

光切割仰角可根據(jù)應(yīng)用場合從標(biāo)準(zhǔn)90°至30°、60°、120°中選擇。


日本nisshooptical半導(dǎo)體激光器測量裝置 AFM-30 規(guī)格參數(shù)


■ 觀察方法

光學(xué)切割法(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測量深度和高度)

■ 物鏡

固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)

■ Z軸驅(qū)動(dòng)方式

使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動(dòng)測量)

■ 投影狹縫

10μm半反射鏡型

■ Z軸測量

Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù)

■ 重復(fù)性

±1μm以內(nèi)

■ 使用的光源

半導(dǎo)體激光器(2級(jí))、鹵素光源

清晰顯示深度、高度和水平差的光學(xué)切割方法...自動(dòng)捕捉代表橫截面形狀的細(xì)縫光、紅色激光點(diǎn)和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數(shù)字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置,結(jié)合了顯示功能(自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng))和電子線法參考線,擴(kuò)大了測量范圍,增加了其實(shí)用價(jià)值。




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