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日商精光nisshooptical光學系統(tǒng)測量深高度

日商精光nisshooptical光學系統(tǒng)測量深高度 AFM-30

這是一種新型深度和高度測量裝置,結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動對焦)跟蹤。
連續(xù)跟蹤自動對焦驅動可實現(xiàn)快速、易于使用的測量,并具有高重復性。
由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量,因此可以實時識別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區(qū)域。

  • 產品型號:AFM-30
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-12
  • 訪  問  量:293
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詳細介紹

日商精光nisshooptical光學系統(tǒng)測量深高度 AFM-30 特點介紹


這是一種新型深度和高度測量裝置,結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動對焦)跟蹤。

連續(xù)跟蹤自動對焦驅動可實現(xiàn)快速、易于使用的測量,并具有高重復性。

由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量,因此可以實時識別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區(qū)域。


這是一種狹縫圖像、點光圖像和電子線參考線的中心在測量點處都重合的測量系統(tǒng),通過檢查錯位,可以防止測量值錯誤。

光切割仰角可根據應用場合從標準90°至30°、60°、120°中選擇。


日商精光nisshooptical光學系統(tǒng)測量深高度 AFM-30 規(guī)格參數(shù)


■ 觀察方法

光學切割法(利用狹縫光學系統(tǒng)測量深度和高度)

■ 物鏡

固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)

■ Z軸驅動方式

使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動測量)

■ 投影狹縫

10μm半反射鏡型

■ Z軸測量

Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù)

■ 重復性

±1μm以內

■ 使用的光源

半導體激光器(2級)、鹵素光源

清晰顯示深度、高度和水平差的光學切割方法...自動捕捉代表橫截面形狀的細縫光、紅色激光點和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數(shù)字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置,結合了顯示功能(自動對焦系統(tǒng))和電子線法參考線,擴大了測量范圍,增加了其實用價值。



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