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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
美國艾默生TESCOM半導(dǎo)體用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 12系列采用技術(shù)的0EM氣體系統(tǒng)用于的產(chǎn)品·通過超高靈敏度的壓力調(diào)整來提高MFC性能強化在廣泛的應(yīng)用中性能2sccm至120SLPM的流量DROOP和可重復(fù)性隔膜/主體為金屬硅表面全部為10Ra或5Ra加工
產(chǎn)品型號：12系列廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-10-12訪 問 量：348
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美國艾默生TESCOM半導(dǎo)體用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 12系列 特點介紹
采用技術(shù)的0EM氣體系統(tǒng)
用于的產(chǎn)品
·通過超高靈敏度的壓力調(diào)整來提高MFC性能
強化
在廣泛的應(yīng)用中
性能
2sccm至120SLPM的流量
DROOP和可重復(fù)性
隔膜/主體為金屬硅
表面全部為10Ra或5Ra加工
美國艾默生TESCOM半導(dǎo)體用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 12系列 規(guī)格參數(shù)
以ANSI/ASME B31.3為基準
入口莊力..............1.03MPa（10 kg/cm2）
出口壓力范圍:
20 in Hg-0.1MPa,0.01-0.21，0.02-0.41&0.02-0.69MPa
(20 in Hg-1 kg/cm2,.1-2,.2-4..2-7 kg/cm2)
設(shè)計耐壓................最大壓力的150%
設(shè)計耐破裂壓力......最大壓力的400%
認證的最大內(nèi)部限制:
<1 X 10-9 atmcc/secHe
操作溫度....................-40%C~攝氏60度
(-40°F~140*F)
流量......................2sccm-120SLPM
流體接觸部材質(zhì)
機身.................無線316LVAR
隔膜................八固體
PCTFE
閥門桿.................斯泰勒斯316L
其他零件.................316
其他材質(zhì)也可以變更，請咨詢。
接続
集成模型..1.125"或1.50"英尺"林特
焊接頭.....1/4"VCR或1/4"片狀短管
重量
錄像機，IGS................0.27kg
A型................0.49kg
內(nèi)部容量......................1.53cc
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002
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