日本MARUWA石英玻璃高純度材料半導(dǎo)體領(lǐng)域用 特點介紹

MARUWA的石英玻璃制品是使用精選的高純度材料，其的加工技術(shù)與在管理的潔凈環(huán)境中的生產(chǎn)體制獨樹一幟。

從逐漸大型化的半導(dǎo)體制造工序用產(chǎn)品到光纖、太陽能電池這種新生代產(chǎn)品的制造工序用石英管、石英舟等，能根據(jù)客戶的要求提供各種產(chǎn)品。

以新生代的18英寸（450mm）為目標(biāo)，導(dǎo)入大口徑機(jī)床和加工中心等設(shè)備，確立了12英寸（300mm）晶圓爐心管等大型產(chǎn)品的制造技術(shù)。

確立了借助于先進(jìn)的NC加工機(jī)的精密研磨加工、細(xì)眼穿孔加工等精密細(xì)微加工技術(shù)。

另外，還可進(jìn)行像氣體導(dǎo)入管中的細(xì)孔加工等借助于激光加工機(jī)的任意曲線切斷加工。

因火處理以后的所有工序都在潔凈環(huán)境下進(jìn)行，最大限度地抑制了產(chǎn)品的污染。特別是出廠檢查、最終洗滌、真空包裝等工序是在等級1000以下的潔凈環(huán)境下操作的，可保證在無污染的狀態(tài)下交貨。

日本MARUWA石英玻璃高純度材料半導(dǎo)體領(lǐng)域用 規(guī)格參數(shù)

可對應(yīng)包括半導(dǎo)體制造流程的擴(kuò)散CVD、洗滌、蝕刻等的所有工序。

也可對應(yīng)12英寸（300ｍｍ）以上大型產(chǎn)品的制造。

化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域

MO-可對應(yīng)包括MO-CVD的各種流程。

管式反應(yīng)器

箱式反應(yīng)器

大型托盤

光纖領(lǐng)域

可對應(yīng)光纖基材處理、燃燒器、燃燒室等各流程的石英產(chǎn)品。

石英爐心管

石英多重管燃燒器

光纖基材細(xì)孔加工

各種石英室

太陽能領(lǐng)域

可對應(yīng)硅片用石英產(chǎn)品。

石英管

石英舟