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日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì)

日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì) IMP&G 機(jī)頭:ICF070

1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵(單電池)2.用于排出殘留的氮?dú)夂图淄榈谋?.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計(jì)4.僅密封NEG即可達(dá)到的真空為10-8Pa,通過追加本機(jī)可達(dá)到10-10Pa臺可到達(dá)5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動(dòng)放電(帶啟動(dòng)按鈕)6.NEG泵激活時(shí)可動(dòng)作7.SUS制、BeCu合金制

  • 產(chǎn)品型號:IMP&G 機(jī)頭:ICF070
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-12
  • 訪  問  量:296
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詳細(xì)介紹

日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì) IMP&G 機(jī)頭:ICF070  特點(diǎn)介紹


1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵(單電池)

2.用于排出殘留的氮?dú)夂图淄榈谋?/span>

3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計(jì)

4.僅密封NEG即可達(dá)到的真空為10-8Pa,通過追加本機(jī)可達(dá)到10-10Pa臺可到達(dá)

5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動(dòng)放電(帶啟動(dòng)按鈕)

6.NEG泵激活時(shí)可動(dòng)作

7.SUS制、BeCu合金制


日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì) IMP&G 機(jī)頭:ICF070  規(guī)格參數(shù)


形式:IM P&G電極:圓筒陰極(Ta),螺旋陽極(W)排氣速度:1L/s(Ar),4L/s(CH4)適用NEG泵:50~2000L(H2)/s真空測量范圍:10-10Pa~10-3Pa泵殼體:SUS316L或0.2%BeCu釹磁鐵:4kG,烘烤溫度(80°C)薩馬科瓦磁鐵:3.8kG,烘烤溫度(280°C)電子沖擊加熱功率:1000V×100mA施加電壓:5kV,100μA安裝法蘭:ICF070(Cu襯墊)頭重量:2.8kg

■倒置磁控管型NEG輔助泵IMP&G是一種離子泵,當(dāng)NEG泵抽真空至超高/超高真空時(shí),可排出剩余的氬氣和甲烷。也可用作高精度冷陰極型真空計(jì),可測量高達(dá) 1×10 -10 Pa的壓力。

■我們成功地為倒置磁控管型冷陰極真空計(jì)增加了排氣功能。傳統(tǒng)的倒磁控管型冷陰極真空計(jì)幾乎沒有抽真空作用,并且從未有過將倒磁控管型單元用作離子泵的泵單元的例子。之所以沒有排氣效應(yīng),是因?yàn)榻M成陰極的電極表面是氧化層。我們通過在真空中將陰極(Ta)加熱到1000℃以上,成功地產(chǎn)生了排氣效果。通過加熱,電極表面的氧化物被去除,稀有氣體離子通過捕獲(捕獲)被排出,這是在構(gòu)成陰極的金屬之間捕獲離子的作用。


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