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美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光

美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型

折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時(shí)間
低成本、高性能濃度計(jì)使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng),以提高工藝效率。
隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場校準(zhǔn),從而降低擁有成本
緊湊的設(shè)計(jì)允許在化學(xué)管道中在線安裝

  • 產(chǎn)品型號:CR288型
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-11
  • 訪  問  量:515
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細(xì)介紹

美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 特點(diǎn)介紹


折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時(shí)間

低成本、高性能濃度計(jì)使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng),以提高工藝效率。  

隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場校準(zhǔn),從而降低擁有成本

緊湊的設(shè)計(jì)允許在化學(xué)管道中在線安裝


利用Inview CR288液體濃度計(jì)的在線實(shí)時(shí)折射率測量技術(shù),可以在以下測量點(diǎn)(最多4個(gè)位置)監(jiān)測化學(xué)溶液。

清潔 BEOL 和 FEOL

化學(xué)機(jī)械拋光

電鍍

光刻法等


美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 規(guī)格參數(shù)


傳感器部分: 流通池 改性聚四氟乙烯* 

濕透的窗戶 半導(dǎo)體級藍(lán)寶石* 

電纜連接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯  

引擎蓋 聚丙烯 

安裝板 聚偏氟乙烯 

傳感器使用條件: 流體壓力 0 - 0.55 兆帕 

流體溫度 5°C - 50°C 

流體折射角 1.28000 至 1.40000 ** 

直達(dá): 電源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上 

電源(使用適配器時(shí)) 110/240VAC,50/60±3Hz 

串行端口 RS-232 

模擬輸出 4 - 20 mA(溫度和濃度),每個(gè) DDU 最多 4 個(gè)傳感器 


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