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Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料

Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料

TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),專門針對CMP研磨環(huán)應(yīng)用而優(yōu)化,因此是恩欣格半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品系列中的一員。TECATRON CMP natural材料具有的性能,相比標(biāo)準(zhǔn)PPS聚合物,在用作CMP研磨環(huán)時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

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  • 更新時間:2024-10-11
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Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料 特點介紹


TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),專門針對CMP研磨環(huán)應(yīng)用而優(yōu)化,因此是恩欣格半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能,相比標(biāo)準(zhǔn)PPS聚合物,在用作CMP研磨環(huán)時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

材料選擇的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是CMP研磨環(huán)材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導(dǎo)致不同數(shù)量的襯墊碎片,并影響碎片夾帶的程度,進(jìn)而對CMP工藝的整體性能產(chǎn)生重大影響。

研究表明,TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊,因此研磨墊粗糙度得到改善,從而提高了材料的去除率,同時也減少了缺陷。


Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料 規(guī)格參數(shù)


與恩欣格所有半導(dǎo)體級材料一樣,TECATRON CMP natural管材的生產(chǎn)符合半導(dǎo)體的精確復(fù)制要求 (也稱為精確復(fù)制或CE),與工業(yè)級PPS相比,它的質(zhì)量控制更為嚴(yán)格。

與標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)級PPS塑料相比,額外的質(zhì)量控制和措施降低了材料的雜質(zhì)風(fēng)險,改善了其內(nèi)部應(yīng)力和尺寸穩(wěn)定性。

恩欣格公司不僅優(yōu)化了材料特性,還開發(fā)了特殊管材尺寸,以便更好地適應(yīng)CMP研磨環(huán)的典型尺寸,從而減少加工過程中的浪費和降低成本。

例如,與外徑360/內(nèi)徑290毫米傳統(tǒng)尺寸相比,使用外徑350毫米/內(nèi)徑300毫米尺寸的管材可以節(jié)省27%的材料成本。


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