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日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備

日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG

該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性,并與RIE和CVD等硬工藝設備兼容。

  • 產品型號:M-351PG
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-10
  • 訪  問  量:224
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詳細介紹

日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 特點介紹


該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性,并與RIE和CVD等硬工藝設備兼容。


半導體、電子器件制造設備、

干式蝕刻設備、等離子體CVD設備、LD-CVD設備等

食品藥品制造設備

真空冷凍干燥、真空蒸餾設備、滅菌設備等。


日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 規(guī)格參數(shù)


型號名稱M-351PG-SP

(鎳絲規(guī)格)(帶設定點型) 

測量壓力范圍5×10 -2 ~ 1×10 5 (Pa) 

精度(帕)±50%:5×10 -2  ~ 1×10 -1

±15%:1×10 -1  ~ 1×10 4

±50%:1×10 4  ~ 1×10 5 

再現(xiàn)性±2%:1×10 -1  ~ 1×10 4 Pa 

輸入電壓直流+14~30V 

能量消耗2W 

模擬輸出0-10V 

表計識別電阻值13 KΩ(D-sub 引腳 5 和 9 之間) 

設定點2 個接點輸出(1 A 30 V,DC) 

界面- 

輸入/輸出連接器D-sub9針 

最大電纜長度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 

工作溫度限制5~60℃ 

儲存溫度范圍-20 至 70°C(非工作) 

烘烤溫度<+150 ℃(O型圈規(guī)格,僅測頭)

<+300 ℃(金屬密封規(guī)格,僅測頭) 

允許過載壓力1 MPa(僅限于接頭形狀NPT、僅限于惰性氣體、絕壓) 

兼容的皮拉尼傳感器型號名稱MP-2 


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