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日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表

日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100

該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置。我們開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制,尺寸小,壓力損失極低。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EPS-5200/EPS-5150
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-09
  • 訪  問(wèn)  量:232
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詳細(xì)介紹

日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特點(diǎn)介紹


該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置。我們開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制,尺寸小,壓力損失極低。

通過(guò)適當(dāng)控制排氣壓力,還可以適當(dāng)管理排氣流量,從而可以通過(guò)管理排氣管道的總流量和壓力來(lái)顯著降低能源成本。

主要用途

? 單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制

? 潔凈通風(fēng)室和潔凈卡車的室壓控制

? 受排氣管壓力波動(dòng)影響的設(shè)備和工藝

? 液晶顯示風(fēng)刀罐排氣壓力控制

? 潔凈室排氣壓力控制


日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 規(guī)格參數(shù)


壓力損失 15 Nm3/min 時(shí) 50Pa(空氣) 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下(空氣) 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下(空氣) 

控制閥連接 200A 管道輸出 150A 管道輸出 100A配管 

調(diào)節(jié)壓力范圍(一次側(cè)壓力) -50至-999Pa(取決于與大氣壓力和二次壓力的壓差) 

二次壓力(閥門(mén)下游壓力) (控制壓力-50)Pa以下 

如果壓差小于該值,則初次調(diào)節(jié)范圍會(huì)變窄。 

壓力精度 ±2%滿量程  

控制紋波(穩(wěn)定控制時(shí)的變化) ±1%滿量程(二次側(cè)壓力波動(dòng)±10Pa以內(nèi)) 

耐壓(一次側(cè)壓力) 50kPa以內(nèi)(與大氣壓的壓差) 

反應(yīng)能力 2 秒內(nèi)完成 98% 的設(shè)置(典型) 

流體溫度 10~50℃ 

主機(jī)環(huán)境溫度(精度保證溫度) 15-35℃ 

電源電壓 24V直流±10% 

外部輸出 壓力信號(hào):1至5V DC 

報(bào)警:NPN晶體管集電極開(kāi)路 DC 30V<100mA 



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