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日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量 AP250/AP500

AP250、AP500是適合半導(dǎo)體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制部(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

  • 產(chǎn)品型號:AP250/AP500
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-08
  • 訪  問  量:208
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詳細(xì)介紹

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量 AP250/AP500 特點介紹


AP250、AP500是適合半導(dǎo)體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制部(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

 另外,外部附有壓力傳感器,傳感器的信號輸入到氣動控制部分,控制氣動控制組中的閥門的開/關(guān),以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器部分中圓頂?shù)膬?nèi)部壓力。 ,并自動控制外殼壓力以匹配任何設(shè)定壓力值。也可通過外接流量傳感器作為流量控制器使用。

AP250的最大控制流量為5001/min,AP500的最大控制流量為2000L/min,兩種類型的最大控制壓力約為600kPa。

 對于壓力接頭,AP250 與 1/2" VCR 兼容,AP500 與 3/4" SWAG 或 3/4" VCR 等效件兼容。對于真空中使用,請使用等效的清潔氣體或惰性氣體作為導(dǎo)體。與所有氣體包括 、腐蝕性氣體和危險氣體。


日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測量 AP250/AP500 規(guī)格參數(shù)


模型 AP250 AP500 

主要用途 用于 FPD、燃料電池 用于 FPD、燃料電池 

目標(biāo)氣體 N2、空氣、H2等 N2、空氣、H2等 

入口壓力 999kPa以下 999kPa以下 

耐壓性 小于1500kPa 小于1500kPa 

壓力設(shè)置 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 

控制方式 穹頂內(nèi)氣動控制 穹頂內(nèi)氣動控制 

控制壓力 0~500kPa 0~500kPa 

最大流量 500升/分鐘 2000升/分鐘 

響應(yīng)時間 1秒達到設(shè)定值 1秒達到設(shè)定值 

輸入信號 0~5VDC 連續(xù)/關(guān)閉 0~5VDC 連續(xù)/關(guān)閉 

RS485 RS485 

外部傳感器輸入 (4-20mA標(biāo)準(zhǔn)) (4-20mA標(biāo)準(zhǔn)) 



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