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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S

用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源,與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。

  • 產(chǎn)品型號:EW01S/EW04S
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-07
  • 訪  問  量:223
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詳細(xì)介紹

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S


UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S


不僅可以安裝在新設(shè)備上,還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED,可降低功耗,減少對環(huán)境的影響,延長光源的使用壽命,并且無需任何機(jī)械消耗部件,大大有助于降低客戶的運(yùn)行成本。

光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了超過 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇,以前需要大量的處理時(shí)間。此外,可以顯著縮短曝光處理時(shí)間,大大有助于增加處理的晶圓數(shù)量。

物品內(nèi)容
工作環(huán)境溫度5~40℃(無凝結(jié))
電源電壓單相100~240V
工頻50/60赫茲
發(fā)射峰值波長365±5nm
光輸出穩(wěn)定性±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度2000mw/c㎡以上(at365nm,距離掩模版0.5mm)
強(qiáng)度分布均勻性10% 或更少(4 x 5 mm 面積)
紫外光源紫外LED
UV光源壽命20,000 小時(shí)(驅(qū)動電流下的預(yù)計(jì)壽命)* UV 強(qiáng)度為初始值的 50% 或以上時(shí)的累積點(diǎn)亮?xí)r間
照射ON/OFF功能UV-LED 開/關(guān)控制(通過遠(yuǎn)程和手動控制開/關(guān)燈)
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能UV-LED 電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為 20 至 99%
外觀材質(zhì)防銹的
外形尺寸150(寬)×200(深)×192(高)毫米


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