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日本古河furukawa氮化鋁 (AlN) 陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備用

更新時間:2024-07-29      瀏覽次數(shù):476

日本古河furukawa氮化鋁 (AlN) 陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備用


半導(dǎo)體制造設(shè)備(用于前端工藝)需要應(yīng)對更小的設(shè)計規(guī)則和更大的晶圓直徑(300mmφ或更大)。為此,構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。

氮化鋁(AlN)是一種平衡良好的材料,具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、熱輻射(散熱)、抗熱震性和電絕緣性,并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性。

利用古河電子的燒成技術(shù),我們還能夠制造550mmφ的氮化鋁陶瓷部件。我們還將應(yīng)對更大直徑的晶圓。

我們還提供材料。如果您對氮化鋁陶瓷有任何疑問,請隨時與我們聯(lián)系。

特征

具有高導(dǎo)熱率和熱發(fā)射率,熱量均勻性高。

它具有抗熱沖擊能力,可以承受快速加熱和冷卻。

與硅相匹配的低熱膨脹。

對氟氣具有優(yōu)異的耐腐蝕性。

目的

半導(dǎo)體制造裝置(CVD、蝕刻等)用各種基座、靜電吸盤、均熱板、真空吸盤、加熱器

虛擬晶圓

目標

化合物半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件

型號:FAN-090 / FAN-170 / FAN-200

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郵箱:akiyama_zhou@163.com

傳真:

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